Xenon voor de productie van halfgeleiders en geheugenchips
Xenon wordt gebruikt voor het etsen en afzetten van microchips in de halfgeleiderproductie, zowel als atmosfeer, plasma en als ionenbundelbron voor ets- en afzettingsprocessen. Xenon dat in dit proces wordt gebruikt, moet zeer zuiver zijn, omdat onzuiverheden uiteindelijk het siliciumsubstraat verontreinigen of reageren met chemicaliën in het proces, zoals fluor, om giftige en zeer corrosieve waterstoffluoride (HF) te produceren. Als toonaangevend bedrijf in de elektronica-industrie wordt het xenon van Air Products geproduceerd in onze ultramoderne elektronicakwaliteitsinstallatie voor een betere kwaliteitsborging. Het kan worden gebruikt in excimerlaser, laser buffer gassen, etsen van DRAM en 3D NAND en plasmaschermen.
